導讀:每經(jīng)AI快訊,10月14日,新時達在互動平臺表示,目前公司半導體機器人已批量應用于國內多個晶圓廠產(chǎn)線,公司與國內半導體設備公司就機器人研發(fā)達成了相關合作,目前公司半導體機器人應用能夠覆蓋熱處理、清洗、刻蝕、薄膜、黃光、減...
每經(jīng)AI快訊,10月14日,新時達在互動平臺表示,目前公司半導體機器人已批量應用于國內多個晶圓廠產(chǎn)線,公司與國內半導體設備公司就機器人研發(fā)達成了相關合作,目前公司半導體機器人應用能夠覆蓋熱處理、清洗、刻蝕、薄膜、黃光、減雹鍵合等半導體前道和后道工藝制程。
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